指標(biāo) |
薄膜測(cè)試 |
容器測(cè)試(另購(gòu)) |
測(cè)試范圍 |
0.01~6500 cm3/m2·d(常規(guī))
0.07~65,000 cm3/m2·d(可選) |
0.0001~60 cm3/pkg·d |
試樣數(shù)量 |
1~3 件(數(shù)據(jù)各自) |
分辨率 |
0.001 cm3/m2·d |
0.00001 cm3/pkg·d |
試驗(yàn)溫度 |
15℃~55℃(常規(guī)) |
控溫精度 |
±0.1℃(常規(guī)) |
試驗(yàn)濕度 |
0%RH、35%RH~90%RH、RH |
控濕精度 |
±1% RH |
試驗(yàn)氣體 |
O2、空氣等(氣源用戶自備) |
測(cè)試面積 |
50 cm2 |
/ |
試樣厚度 |
≤3 mm (其他厚度要求可定做) |
/ |
試樣尺寸 |
108 mm x 108 mm |
控溫1個(gè)容器:小于Ф150 mm,高度小于380 mm
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控溫3個(gè)容器:小于Ф99 mm,高度小于380 mm
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非控溫尺寸不限
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載氣 |
99.999%高純氮?dú)饣蚝瑲?%的氮?dú)猓庠从脩糇詡洌?/td>
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氣源壓力 |
≥0.28 MPa |
接口尺寸 |
1/8英寸金屬管 |
外形尺寸 |
690 mm (L) × 350 mm (W) × 360 mm (H) |
電源 |
AC (85~264)V (47~63)Hz |
凈重 |
70 kg |