微波化學(xué)氣相沉積爐
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產(chǎn)品摘要
- 南北儀器是微波化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品的供應(yīng)商,提供微波化學(xué)氣相沉積爐全套產(chǎn)品的價(jià)格,參數(shù),價(jià)錢,報(bào)價(jià),品牌等資料,歡迎來(lái)電咨詢優(yōu)惠價(jià)錢,南北儀器品質(zhì)提供
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1. 才用純微波加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的任何材料，
2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設(shè)置，控溫精度高，熱慣性小。此管式爐可同時(shí)加熱多個(gè)溫區(qū)，且加熱區(qū)長(zhǎng)度可調(diào)。
3. 可通各種氣氛，抽真空有機(jī)械泵、擴(kuò)撒泵和分子泵，可達(dá)10-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)），耐高溫、耐腐蝕；
5、保護(hù)管采用耐高溫合金管 ，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；
6、爐體配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇，降低溫度；
8、真空系統(tǒng)：機(jī)械泵 擴(kuò)散泵和分子泵，真空密度計(jì)
9、可通過(guò)電腦全程監(jiān)控和調(diào)試；
產(chǎn)品參數(shù)：
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型號(hào)/model |
WBMW-QXCJ4 |
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可加熱材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
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微波頻率 |
2.45GHZ±50MHz |
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加熱方式 |
純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱 |
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大功率/KW |
4 (功率可調(diào)) |
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溫度測(cè)試元件 |
微波場(chǎng)傳感器 |
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控溫精度/℃ |
±2 |
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加熱管材質(zhì) |
石英管 |
高溫合金管 |
剛玉管 |
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加熱溫度/℃ |
1200℃ |
1200℃ |
1600℃ |
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管徑(外徑/內(nèi)經(jīng)X長(zhǎng)度)/mm |
∅45/∅35×1200，可選配，大外徑∅60mm |
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加熱速度（高） |
≦200 |
升溫速率不限 |
≦50 |
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恒溫區(qū)長(zhǎng)度 |
標(biāo)配恒溫區(qū)長(zhǎng)度10mm，恒溫去長(zhǎng)度10mm～990mm以上可選 |
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溫區(qū) |
可多溫區(qū)同時(shí)加熱 |
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氣路法蘭 |
不銹鋼法蘭 |
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質(zhì)量流量控制 |
美國(guó)Alicat質(zhì)量流量&控制器、七星華創(chuàng)質(zhì)量流量&控制器 氣柜、氣路及各類閥門，可配套計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制系統(tǒng)及軟件 |
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氣路數(shù)量 |
2路或3路 |
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流量范圍 |
0-1SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)定 |
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精度 |
±0.2%F.S |
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響應(yīng)時(shí)間 |
≤1sec |
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工作壓力 |
進(jìn)氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力），流量規(guī)格≤10SLM |
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系統(tǒng)連接方式 |
采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x |
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規(guī)格 |
高真空 |
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系統(tǒng)真空范圍 |
標(biāo)準(zhǔn)大氣壓～10-3Pa |
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真空泵 |
簡(jiǎn)單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭 10-1Pa真空用高品質(zhì)機(jī)械泵及真空計(jì) 10-2Pa真空用高品質(zhì)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計(jì) 10-3Pa真空用高品質(zhì)機(jī)械泵、分子泵及真空計(jì) |
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爐腔尺寸/mm |
700X350X530 |
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加熱腔(標(biāo)配) |
0.5-3L 2個(gè) |
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加熱腔大小 |
0.94L，2.12L，3.8L |
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升溫速率(標(biāo)配) |
0～990℃/min可根據(jù)實(shí)際任意設(shè)定，可編程、分段加熱 |
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外型尺寸/mm |
1500´750´1560 |
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微波泄漏/ mW/㎝ |
≤0.4 |
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提供相關(guān)配件 |
高溫手套×1、中文說(shuō)明書(shū)×1 |
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保質(zhì)期 |
整機(jī)保修1年 |
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